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학술대회자료
저자정보
Song, Jun-Cheol (Dept. of Polymer Science, Kyungpook National University) Park, Deok-Hun (Dept. of Polymer Science, Kyungpook National University) Park, In-Sung (Dept. of Polymer Science, Kyungpook National University) Shim, Shang-Hun (Dept. of Polymer Science, Kyungpook National University) Yoon, Keun-Byoung (Dept. of Polymer Science, Kyungpook National University)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display
발행연도
2009.1
수록면
1,430 - 1,432 (3page)

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The effect of different annealing methods on the sheet resistance of indium tin oxide (ITO) on polyimide (PI) substrate has been investigated. As electro-annealing induced the predominant growth of crystallites of ITO thin films along (400) plane, the sheet resistance of ITO films that were electro-annealed for 2 mA at $180^{\circ}C$ considerably decreased from 50 to 28 ${\Omega}/cm^2$.
#Electro-annealing #Sheet resistance #Growth of crystallites

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