CAPD 법에서 온도와 전압이 TiN 박막의 내마모 특성에 미치는 영향

신승호; 한전건

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 신승호 (성균관대학교) 한전건 (성균관대학교)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1992년도 추계학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 1992.1

수록면: 35 - 35 (1page)

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