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RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 증착 및 구리 도우핑 효과
전기학회논문지 C
2000 .12
고주파 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO박막의 증착변수와 열처리온도에 따른 c축 배향성 연구
전기학회논문지
1996 .06
Off-axis rf 마그네트론 스퍼터링에 의한 이종에피텍셜 ZnO 박막의 성장 및 광학적 특성
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
RF마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO : AI투명도전막의 제조 및 특성 ( Fabrication of ZnO : Al Transparent Conductive Film by RF Magnetron Sputtering and Its Properties )
대한전자공학회 학술대회
1994 .11
The Effects of Post-annealing Temperatures on Electrical Characteristics of ZnO TFTs
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 FBAR 소자용 ZnO 박막의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
PLD와 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 SAW 필터용 ZnO 박막의 특성 연구
전기전자재료학회논문지
2012 .01
RF 마그네트론 스퍼터링으로 Si(111) 기판위에 증착한 ZnO 박막의 특성향상을 위한 buffer 층의 도입에 따른 영향
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 SAW 필터용ZnO 압전 박막에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2002 .01
태양전지용 ZnO:Al 투명 전도막 제작
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2005 .11
ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1984 .01
RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성
대한전자공학회 학술대회
1984 .11
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 SiO/Si(100) 기판위에 성장시킨 ZnO 박막의 구조 및 광특성
한국재료학회지
2006 .01
박막트랜지스터 구동회로용 ZnO 박막의 구조적 특성에 관한 연구
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2013 .01
RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 AlN박막의 우선배향성
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명반도체 특성
반도체디스플레이기술학회지
2010 .01
DC/RF 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Al:ZnO 투명전도성 산화막의 광학적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
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