RF 마그테트론 스퍼터링법에 의한 ZnO:Al 투명도전막의 제조 및 특성

이형기 ,  마대영 ,  박기철

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

DC/RF 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Al:ZnO 투명전도성 산화막의 광학적 특성

이붕주 ,  신백균 ,  남광우 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

Optical properties of the Al:ZnO transparent conducting oxide films prepared by DC/RF Magnetron Sputtering Method

이붕주 ,  신백균 ,  남광우 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

태양전지용 ZnO:Al 투명 전도막 제작

탁성주 ,  강민구 ,  김동환

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2005 .11

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

ZnO:AI 투명도전막의 열처리특성에 대한 연구

유권규 ,  홍천일 ,  김정규 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

ZnO : Al 투명도전막의 열처리특성에 대한 연구 ( A Study on the Heat Treatment Effects of ZnO : Al Transparent Conductive Thin Films )

유권규 ,  홍천일 ,  김정규 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

수소화된 ZnO:Al 박막 특성연구

탁성주 ,  이승훈 ,  김원목 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2007 .06

RF Sputtering 방법을 이용한 ZnO 투명전극의 특성

이정철 ,  김석기 ,  윤경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

H₂/Ar분위기에서 제조한 투명전극용 ZnO:Al 박막의 특성

탁성주 ,  이정섭 ,  김원목 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2006 .06

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명반도체 특성

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering

Jun-Pyo Hong ,  Ki Chang Lee ,  Un Bin Han 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 증착 및 구리 도우핑 효과

李進馥 ,  李惠靜 ,  徐洙瑩 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .12

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조한 투명 전극용 ZnO 박막 증착에 관한 연구

김진용 ,  이용의 ,  조해석 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 ZnO 박막의 배향성에 관한 TEM연구

김정태 ,  이정용

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Off-axis rf 마그네트론 스퍼터링에 의한 이종에피텍셜 ZnO 박막의 성장 및 광학적 특성

박재완 ,  박유미 ,  박종완 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

인라인 스퍼터링법에 의한 ZnO:Al 박막 증착 및 습식 식각에 따른 표면 형상 제어

김영진 ,  조준식 ,  박상현 외 4명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2009 .06

RF Sputter를 이용한 ZnO:Al 투명전도막 형성 및 후열처리 온도 변화에 따른 특성 분석

최원석 ,  박정은 ,  박정훈 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

PLD와 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 SAW 필터용 ZnO 박막의 특성 연구

이승환 ,  유윤식

전기전자재료학회논문지

2012 .01

고주파 마그네트론 스퍼터 기법으로 제조된 Al:ZnO 박막의 미세구조 및 전기적, 광학적 특성

최정호 ,  조남희

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01