$N_{2}O$ 기체로 제조한 Oxynitride 절연체의 물질적 전기적 특성

박진성

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박진성 (조선대학교 재료공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1994년도 춘계 학술발표 강연 및 논문 개요집

발행연도: 1994.1

수록면: 117 - 117 (1page)

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1994

$N_{2}O$ 기체로 제조한 Oxynitride 절연체의 물질적 전기적 특성

박진성 한국재료학회 학술발표대회 1994.01 학술대회자료

1992

RTP로 $N_2$O 분위기에서 제조한 Oxynitride Gate 절연체의 물질적 전기적 특성

박진성 , 이우성 , 심태언 외 1명 한국재료학회지 1992.01 학술저널

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