ECR enhanced multi-target sputtering 방법으로 제조된 PLT 박막의 특성

김현호; 김성태; 이원종

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김현호 (한국과학기술원 재료공학과) 김성태 (한국과학기술원 재료공학과) 이원종 (한국과학기술원 재료공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1995년도 추계 학술발표 강연 및 논문개요집

발행연도: 1995.1

수록면: 76 - 76 (1page)

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김현호

소속기관 전북대학교 신소재공학부 신소재개발연구센터

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 11 이용수 12

김성태

소속기관 [주]삼성전자

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 5 이용수 4

이원종

소속기관 한국과학기술원 신소재공학과

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 자연과학 > 지구과학 > 지질학

논문수 59 이용수 69

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