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대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제39권 제10호
발행연도
2002.10
수록면
35 - 42 (8page)

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La 농도가 5, 10, 15mol% 인 PLT (Pb1-_(x)La_(x)Ti₁-_(x)/₄O₃) 박막의 초전특성에 대한 변조 주파수 의존성을 dynamic 방법을 이용하여 조사하였다. 그 결과, La 농도가 10mol% 인 PLT 박막이 가장 우수한 초전특성을 보였다. 이때 초전계수는 주파수 의존성이 없이 최대값 6.6×10^(-9) C/㎠·K 을 나타내었으며, 전압감도와 비검출능에 대한 재료평가지수도 각각 1.03×10^(-11)C·cm/J 과 1.46×10^(-9)C·cm/J 로 가장 우수한 값을 나타내었다. 초전전압에 상응하는 전압감도는 저주파 영역에서 거의 일정하고 고주파 영역에서 주파수에 반비례하는 특성을 가지고 주파수 8Hz 일 때 기준으로 최대값 5.15 V/W 로 나타났고, 잡음등가전력과 비검출능은 같은 주파수 100 Hz 에서 각각 9.93×10^(-8) W/Hz^(1/2)와 1.81×10^6 cmHz^(1/2)/W의 최소값과 최대값을 나타내었다. 이는 La 농도가 10mol% 인 PLT 박막이 초전형 적외선 센서에 적용하기에 가장 적합하다는 사실을 나타낸 것이다.

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