ECRPECVD를 이용한 TFT용 대면적 a-Si:H 박막증착

심천만 ,  정동근 ,  박성국 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

ECRPECVD법에 의한 SiOF 박막 증착시 $Ar_{+}$ 이온이 고유 응력에 미치는 영향

김석필 ,  최시경

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

펄스레이저를 이용한 박막 증착

김호성

전기의세계

1993 .06

RF 스퍼터링으로 증착된 a-Si_1-xC_x : H 박막의 결합구조와 광학적 성질에 미치는 증착변수의 영향

한승전 ,  권혁상 ,  이혁모

한국표면공학회지

1992 .11

이온빔 보조증착에 의한 $TiO_2$ 박막의 광학적, 기계적 특성 연구

성진원 ,  문여익 ,  황보창권 외 1명

광학세계

1995 .01

기능성 향상을 위한 Al과 Al-Si 박막의 증착 및 특성 연구

박혜선 ,  양지훈 ,  정재훈 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

전기적 기판 효과에 따른 nc-Si:H 박막의 나노구조적, 화학적, 기계적 특성 분석

손종익 ,  조남희

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

RF Sputter로 증착한 $Si_{1-x}$ $C_x$ 박막 내 실리콘 양자점의 광학적 특성평가

문지현 ,  김현종 ,  이정철

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

광학박막 기술의 동향

황보창권

광학세계

1999 .01

(1-x)CaTiO₃ - xLa(Zn_1/2Ti_1/2)O₃ 계의 마이크로파 유전 특성

여동훈 ,  김재범 ,  윤석진 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

광통신용 광학 박막의 최신 기술 동향

황보창권

광학세계

2001 .01

마이크로파 기술 현황

김봉렬

전자공학회잡지

1974 .08

Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 $RuO_2$ 박막의 특성분석

조호진 ,  홍석경 ,  조해석 외 2명

한국재료학회지

1995 .01

펄스 플라즈마 CVD에 의한 다이아몬드 특성을 갖는 탄소박막 증착

임호병 ,  김동선 ,  이기선

한국자원리싸이클링학회 심포지엄

2003 .01

펄스레이저 증착법의 원리와 응용

이상렬

전기의세계

1996 .05

RF PCVD 에 의한 DLC 박막합성과 Tribology특성평가

김성영 ,  이상현 ,  신승용 외 1명

한국재료학회지

1997 .01

RF Power에 따른 BST박막의 특성

최명률 ,  권학용 ,  박인철 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

[특집:펄스전원의 기술동향] 고출력 마이크로파의 발진장치 및 전자기 펄스탄 개발동향

최은하

전력전자학회지

2004 .02