주입가스 차단을 이용하여 불연속 증착방법에 의해 제조된 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화

정세진; 노재상

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정세진 (홍익대학교 금속.재료공학과) 노재상 (홍익대학교 금속.재료공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1997년도 한국재료학회 춘계학술발표회

발행연도: 1997.1

수록면: 108 - 108 (1page)

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