A Novel Method of Solid Phase Crystallization of LPCVD Amorphous Si Films by Nucleation Interface Control

Eui Hoon Hwang ,  Se Jin Chung ,  Jae Sang Ro

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

비정질 실리콘의 자기정렬콘텍 (Self Aligned contact)에서 LPCVD 공정시간에 따른 특성 변화 연구

최광남 ,  곽성관 ,  김동식 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2006 .11

증착속도에 따른 LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화거동

최용우 ,  손동균 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Amorphous Si의 제작과 특성

성영권 ,  이병득 ,  민병무 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1984 .07

SOLID PHASE CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS SILICON THIN FILM BY SURFACE ACTIVATION TREATMENT

Lee ,  Ui-S. ,  Kim 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

LPCVD법으로 증착된 다층비정질 실리콘박막의 고상결정화

황의훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Application of 532 ㎚ Nd:YAG Laser Annealing to Crystallization of Amorphous Si Thin Films

Jaewon Lee ,  Jong-Won Lee ,  Haseung Chung 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .05

Microwave-Enhanced Low-Temperature Crystallization of Amorphous Silicon Films for TFTs

Ahn ,  Jin-Hyung ,  Eom 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2002 .01

The Substrate Effects on Kinetics and Mechanism of Solid-Phase Crystallization of Amorphous Silicon Thin Films

Yoon-Ho Song ,  Seung-Youl Kang ,  Kyoung Ik Cho 외 1명

[ETRI] ETRI Journal

1997 .02

Low-Temperature Crystallization of Amorphous Si Films by Spin-Coating of Metal Solutions

손동균 ,  장태웅 ,  안병태

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

P-Channel Amorphous-Silicon Thin-Film Transistors

K. S. Choi ,  M. Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Molecular Dynamics Study on External Field Induced Crystallization of Amorphous Argon Structure

Seungho Pa ,  k ,  Sung San Cho 외 3명

Journal of Mechanical Science and Technology

2004 .11

Application of 532 nm YAG-Laser Annealing to Crystallization of Amorphous Si Thin Films Deposited on Glass Substrates

Lee ,  Jong-Won ,  So 외 5명

한국재료학회지

2008 .01

주입가스 차단을 이용하여 불연속 증착방법에 의해 제조된 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화

정세진 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Crystallization of Amorphous Silicon Films Using Joule Heating

Jae-Sang Ro

한국표면공학회지

2014 .02

LPCVD법으로 제작한 비정질 실리콘과 다결정 실리콘의 구조 및 전기적 특성

윤형섭 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

LPCVD 법으로 제작한 비정질 실리콘과 다결정 실리콘의 구조 및 전기적 특성 ( The Structural and Electrical Properties of LPCVD Amorphous and Polycrystalline Silicon Film )

윤형섭 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

METAL-INDUCED LATERAL CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS SILICON FILMS ON GLASS USING RAPID THERMAL ANNEALING

Kim ,  Tae-Kyung ,  Lee 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PATTERNED SUBSTRATES FOR AMORPHOUS SILICON THIN FILM SOLAR CELLS

Kang-Soo Han ,  Ji-Hoon Jang ,  Ju-Hyeon Shin 외 3명

AFORE

2011 .11

Laser를 이용하지 않는 비정질 실리콘 박막의 극저온결정화

신종배 ,  김병수 ,  최덕균

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01