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학술대회자료
저자정보
백민 (충남대학교 공과대학 재료공학과) 손기황 (충남대학교 공과대학 재료공학과) 김도진 (충남대학교 공과대학 재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1997년도 한국재료학회 추계학술발표회
발행연도
1997.1
수록면
36 - 36 (1page)

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1997

ICBD(Ionized Cluster Beam Deposition) 방법에 의한 Patterned Si 기판위 Cu박막의 Step coverage와 평탄화 기술 연구
백민 ,  김경현 ,  최규석 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.07 학술대회자료
ICBD(Ionized Cluster Beam Deposition) 방법에 의한 Patterned Si 기판위 Cu 박막의 Step coverage와 평탄화 기술 연구
백민 ,  손기황 ,  김도진 한국재료학회 학술발표대회 1997.01 학술대회자료

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