RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 증착된 $SrBi_{2}Ta_2O_9$ 강유전체 박막의 전기적 특성

이상열 ,  서광종 ,  장지근 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Properties of SrBi2Ta2O9 Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering Method

이상열 ,  장호정 ,  장지근

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

LOW TEMPERATURE PREPARATION OF FERROELECTRIC $SrBi_{2}Ta_{2}O_{9}$ THIN FILEMS BY A MODIFIED RF MAGNETRON SPUTTERING TECHNIQUE

Yang ,  Cheol-Hoon ,  Kim 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

새로운 열처리법을 통한 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 저온 성장

이관 ,  최훈상 ,  허재성 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

비휘발성 메모리용 SrBi2Ta2O9 강유전체 박막의 제조 및 특성연구 ( Preparation and Characterization of SrBi2Ta2O9 Ferroelectric Thin Films for Nonvolatile Memory )

장호정 ,  서광종 ,  장지근

전자공학회논문지-D

1998 .03

$SrBi_2Ta_2O_9$ 박막과 Pt 하부전극과의 결정학적 방위 관계에 대한 고찰

김현하 ,  권현자 ,  이정수

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

MOD법으로 제조한 $SrBi_{2x}Ta_2O_9$ 강유전체 박막의 열처리 공정에 따른 전기적 특성

연대중 ,  최재식 ,  박주동 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

PREPARATION AND PROPERTIES OF $SrBi_2Ta_2_9$ FERROELECTRIC THIN FILMS

Lee ,  Chi-Heon ,  Choi 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

플라즈마를 이용한 유기금속 화학증착법에 의한 강유전체 $SrBi_2Ta_2O_{9}$ 박막의 제조

성낙진 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Characterizations of the Pt / SrBi2Ta2O9 / Pt Ferroelectric Thin Film Capacitors for the Non-Volatile Memory Devices

이전국 ,  송태권 ,  정형진

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Neural Network을 위한 Metal-Ferroelectric ( SrBi2Ta2O9 ) - Metal-Si 구조의 전기적 특성

신동석 ,  이호녕 ,  김용태 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

산소 분압 열처리 조건이 $SrBi_2Ta_2O_9/$ 박막의 강유전특성에 미치는 영향

이관 ,  최훈상 ,  이종한 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

$SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 ICP 식각 특성

한윤봉 ,  박진수 ,  임연호 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

RF 스퍼터링을 이용한 SiO2 / Ta2O5 , SiO2 / ZrO2 박막의 무반사 특성 ( Anti-Reflection Characteristic of SiO2 / Ta205 , SiO2 / ZrO2 Film using the RF Sputter )

이풍엽 ,  임우택 ,  이진규 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

RF Sputtering 방법으로 증착된 배향막용 SiO₂ 박막의 특성

박인규 ,  유현지 ,  문혜수 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

Fabrication and characterization of MFMISFETs with $Pt/SrBi_2Nb_2O_9/Pt/Y_2O_3/Si$ gate structure

김익수 ,  심선일 ,  김용태 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

GROWTH AND CHARACTERIZATION OF RF MAGNETRON SPUTTERED $AIn/Sio_2/Si(100)$ THIN FILMS

Kim ,  Hyung-T. ,  Whang 외 10명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

RF magnetron sputter로 성장시킨 고유전 $TiO_2:SiO_2$ 박막의 특성

김성연 ,  오병윤 ,  함문호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

Etch Stop Characteristics of $SrBi_2Ta_2O_9$ Thin Film by Using $CeO_2$ Buffer Layer

권영석 ,  심선일 ,  김용태 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

ETCH CHARACTERISTICS OF FERROELECTRIC SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$ THIN FILMS IN AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA

Chung ,  Chee-Won ,  Kim 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01