패턴 밀도를 고려한 Chemical Mechanical Polishing에 관한 연구

이재경 ,  문원하 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

2002 .06

Chemical Mechanical Polishing 공정기술 및 장비동향

성홍석

전자공학회지

2013 .12

Tribology In Chemical Mechanical Polishing

Hong Jin Kim

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .04

집중변수방법을 이용한 화학-기계적 연마공정의 TCM 연성모델

오승희 ,  석종원

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .06

Application of Pulsed Chemical Vapor Deposited Tungsten Thin Film as a Nucleation Layer for Ultrahigh Aspect Ratio Tungsten-Plug Fill Process

Jang ,  Byeonghyeon ,  Kim 외 1명

한국재료학회지

2016 .01

대입열 용접용 consumable의 특성 ( The characteristics of Welding consumable for High heat-input welding )

김명룡 ,  이동주 ,  김희진

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

1987 .01

CMP공정에서 연마결과에 영향을 미치는 패드 물성치에 관한 연구

김형재 ,  김호윤 ,  정해도

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2000 .03

실리콘 웨이퍼 폴리싱 공정에서 자연 산화막에 의한 마찰의 변화

박영봉 ,  문도민 ,  정해도

한국트라이볼로지학회 학술대회

2010 .06

슬러리 유동이 웨이퍼 연마량에 미치는 영향에 대한 고찰

양우열 ,  정소영 ,  성인하

한국트라이볼로지학회 학술대회

2013 .04

폴리싱 정반용 다이아몬드 펠렛의 성능평가

이충석 ,  채승수 ,  김택수 외 6명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2009 .11

MR Fluid Jet Polishing System을 이용한 비구면 렌즈 성형용 텅스텐카바이드 코어의 초정밀 연마를 위한 기초 연구

김기범 ,  이정원 ,  홍광표 외 4명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2013 .10

3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석

손준규 ,  박성현 ,  이현섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2020 .09

EP와 MR Polishing 복합공정을 이용한 의료용합금의 초정밀 연마

하석재 ,  조명우 ,  홍광표 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

Determination of End Point for Direct Chemical Mechanical Polishing of Shallow Trench Isolation Structure

Yong-Jin Seo ,  Kyoung-Jin Lee ,  Sang-Yong Kim 외 1명

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2003 .02

Study on the Relationship between Stick-Slip and Micro-Scratches Generation during Chemical-Mechanical Polishing Process

Soyoung Jung ,  Woo Yul Yang ,  In-Ha Sung

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .05

웨이퍼 연마 불균일성에 대한 유한요소해석 연구

양우열 ,  성인하

한국트라이볼로지학회 학술대회

2012 .10

Chemical Mechanical Polishing(CMP) 공정에서 웨이퍼에 작용하는 압력분포 해석

김기현 ,  오수익 ,  전병희

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

시뮬레이션을 활용한 평판연마로봇의 연마소비재에 따른 마모량 예측

김동주 ,  강성욱

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

GTA용접용 텅스텐 전극팁의 형상과 연마 상태가 아크특성에 미치는 영향 ( The Effect of Configuration and Surface Polishing in Tungsten Electrode Tip for Gas Tungsten Arc Welding on the Are Characteristics )

조상명 ,  서상균

대한용접·접합학회지

2001 .02

MR Polishing 공정을 이용한 비구면 렌즈 소재의 기초 연마 특성 분석

김병민 ,  조명우 ,  홍광표 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05