층간절연막적용을 위한 Polyimide의 화학기계적 평탄화 공정

김형균; 이정용; 이상호; 박진구; 안유민

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김형균 (한양대학교 금속재료공학과) 이정용 (한양대학교 기계공학과) 이상호 (한양대학교 금속재료공학과) 박진구 (한양대학교 금속재료공학과) 안유민 (한양대학교 기계공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1998년도 추계학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 1998.1

수록면: 41 - 41 (1page)

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이정용

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