화학기계적폴리싱(CMP)에 의한 층간절연막의 광역평탄화에 관한 연구

정해도

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정해도

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 韓國精密工學會誌第13卷第11號

발행연도: 1996.11

수록면: 46 - 56 (11page)

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