2단계 스퍼터링에 의한 PZT박막의 유전특성

박삼규 ,  마재평

대한전자공학회 학술대회

2004 .06

초고집적회로의 커패시터용 PZT 박막의 입열 조건에 따른 유전특성 - 1 - 비정질 PZT를 사용한 PZT 박막의 누설전류 개선에 관한 연구 ( Dielectric properties with heat-input condition of PZT thin films for ULSI`s capacitor - 1- A study on the improvement of leakage current of PZT thin films using a amorphous PZT layer )

마재평 ,  백수현 ,  황유상

전자공학회논문지-A

1995 .12

PZT(20/80)/PZT(80/20) 이종층 후막의 유전특성

이성갑 ,  이영희 ,  배선기

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

PZT(10/90)/PZT(90/10) 이종층 박막의 구조적, 전기적 특성

李成甲 ,  金經兌 ,  裵善基 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .02

PZT 순수박막과 PZT/PT 교차박막의 적외선 감지 특성 비교

고종수 ,  곽병만

대한기계학회 논문집 A권

2002 .06

Sol-Gel법으로 제작한 PZT(20/80)/PZT(80/20) 이종층 박막의 구조 및 유전특성

심광백 ,  정장호 ,  이영희 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .11

PZT 후막의 미세 구조적 특성에 조성과 전구체 용액의 코팅이미치는 영향

박상만 ,  이성갑 ,  노현지

전기전자재료학회논문지

2006 .01

Co-Sputtering 으로 제조된 PZT 박막의 전도 및 피로 특성

주재현 ,  길덕신 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

PZT박막 Capacitor에 관한 기초연구(I)

황유상 ,  백수현 ,  하용해 외 3명

한국재료학회지

1993 .01

단결정립 PZT 박막의 피로 및 정보 유지 특성에 관한 연구 ( A Study on the Fatigue and Data Retention Characteristics of Single Grained PZT Thin Films )

이장식 ,  주승기

전자공학회논문지-SD

2000 .05

PZT-5A 탐촉자의 특성 분석

김철수 ,  김상수 ,  송준태 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

DRAM용 PZT 박막 캐피시터의 유전특성

정장호 ,  박인길 ,  이성갑 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11

솔젤법에 의한 제작된 PZT 박막의 특성

申泰賢 ,  柳道鉉

전기학회논문지 P

2001 .12

유리 기판 위에서의 PZT 박막의 특성에 관한 연구

주필연 ,  정규원 ,  박영 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

PZT(5/95)PZT(95/5) 이종층 박막의 코팅횟수에 따른 구조적 특성

노현지 ,  이성갑 ,  남성필 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .11

하부전극 변화에 따른 PZT 박막 특성에 관한 연구

박영 ,  정규원 ,  임승혁 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

PZT박막의 시간에 따른 표면특성열화에 관한 연구

송한욱 ,  홍종인 ,  노광수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

PZT 강유전 박막의 전기적 특성

김현권 ,  백동수 ,  최형욱 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

다층 PZT(20/80)후막과 PZT(80/20)박막의 소결온도에 따른 전기적 특성

노현지 ,  이성갑 ,  박상만 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07