반도체용 초순수 제조 기술 현황

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저널정보: 한국막학회 한국막학회 총회 및 학술발표회 한국막학회 2000년도 산업용 초순수 제조 기술 및 응용 Production technology and Applications of Industrial Ultra-pure Water

이용수

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이용병

소속기관 [주]범한정수

주요연구분야 공학 > 화학공학 > 화학공학 일반

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
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키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
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