반도체용 초순수 제조 설비의 일반저 고찰

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저널정보: 한국막학회 한국막학회 총회 및 학술발표회 한국막학회 2000년도 산업용 초순수 제조 기술 및 응용 Production technology and Applications of Industrial Ultra-pure Water

이용수

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고재인

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주요연구분야 공학 > 화학공학 > 화학공학 일반

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