한외여과에 의한 Si 미립자 함유폐수 재이용 공정개발

전재홍; 함용규; 이석기; 남석태; 최호상

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 전재홍 (동안엔지니어링[주] 부설연구소) 함용규 (동안엔지니어링[주] 부설연구소) 이석기 (동안엔지니어링[주] 부설연구소) 남석태 (경일대학교 화학공학과) 최호상 (경일대학교 화학공학과)

저널정보: 한국막학회 한국막학회 총회 및 학술발표회 한국막학회 1998년도 춘계 총회 및 학술발표회

발행연도: 1998.1

수록면: 87 - 88 (2page)

이용수

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연구주제

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연구방법

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (2)

1999

한외여과에 의한 Si 미립자 함유폐수 재이용 공정개발(III) -Pilot-Scale 중공사막 모듈에 의한 투과 특성

전재홍 , 함용규 , 이석기 외 3명 멤브레인 1999.01 학술저널

1998

한외여과에 의한 Si 미립자 함유폐수 재이용 공정개발

전재홍 , 함용규 , 이석기 외 2명 한국막학회 총회 및 학술발표회 1998.01 학술대회자료

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1. 서론 : 반도체 제조공정중의 공정폐수로 발생되는 Si 미립자 함유폐수는 많은 양의 초순수와 1차세정 폐수로 방류되므로 유가물인 Si가 상당량 함유되어 있다. 이러한 폐수의 재이용을 위해 본 연구에서는 미립자 Si를 농축, 회수하고 양질의 처리수를 얻고자 한외여과막 분리공정을 적용하였고, 한외여과막 공정의 조업변수를 평가하여 air back flushing에 의한 막세척 효율 및 fouling 제어특성, 각각의 membrane이 갖는 분획분자량 특성에 따른 처리수 수질 및 flux 비교를 통해 scale up할 경우 필요한 조업변수를 얻고자 실시하였다.

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