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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
안상욱 (연세대학교 세라믹공학과) 최두진 (연세대학교 세라믹공학과) 현상훈 (연세대학교 세라믹공학과)
저널정보
한국막학회 한국막학회 총회 및 학술발표회 한국막학회 1993년도 추계 총회 및 학술발표회
발행연도
1993.1
수록면
24 - 24 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1994

화학기상증착법을 이용한 알루미나 복합분리막의 제조
안상욱 ,  최두진 ,  현상훈 한국막학회 총회 및 학술발표회 1994.01 학술대회자료

1993

화학기상증착법으로 제조한 알루미나 복합분리막에 관한 연구
안상욱 ,  최두진 ,  현상훈 한국막학회 총회 및 학술발표회 1993.01 학술대회자료

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세라믹 분리막은 기존의 유기질막에 비하여 고온 분리공정이 가능하고, 기계적 강도가 크며, 화학 물질에 대해서도 안정하므로 유기질막이 사용 되어질 수 없는 공정 조건에서도 사용이 가능하다. 그러나 기존의 제조법으로 제조한 세라믹 분리막은 복합 분리막의 경우, 코팅시 분리막층에 미세균열이 쉽게 발생하고 막의 재현성이 좋지 않기 때문에 새로운 분리막 제조 공정의 개발 필요성이 대두되고 있다. 본 실험은 이러한 목적하에 반도체 공업에서 주로 사용되어지고 있는 화학기상증착법을 이용하여 세라믹 복합 분리막을 제조하였다.

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