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논문 기본 정보

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저자정보
안상욱 (연세대학교 세라믹공학과) 최두진 (연세대학교 세라믹공학과) 현상훈 (연세대학교 세라믹공학과)
저널정보
한국막학회 한국막학회 총회 및 학술발표회 한국막학회 1994년도 춘계 총회 및 학술발표회
발행연도
1994.1
수록면
28 - 28 (1page)

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세라믹 분림가은 세라믹 고유의 열적, 기계적 특성으로 인해 유기질막이 사용되어질 수 없는 작업환경에서도 사용가능하다는 장점이 있다. 기존의 세라믹 분리막 제조방법으로는 졸겔법등이 있는데, 최근들어 새롭게 주목받고 있는 것이 화학기상중착법 (chemical vapor deposition)에 의한 제조이다. CVD 법은 막의 두께를 비교적 정확하게 조절할 수 있고, 균일한 두께의 막을 제조할 수 있다는 장점이 있다.

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