균질한 대면적 YBCO 박막증착을 위한 실린더형 할로우 캐소드 스퍼터링 증착법

서정대; 한석길; 성건용; 강광용

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 서정대 (한국전자통신연구원, 원천기술연구본부) 한석길 (한국전자통신연구원, 원천기술연구본부) 성건용 (한국전자통신연구원, 원천기술연구본부) 강광용 (한국전자통신연구원, 원천기술연구본부)

저널정보: 한국초전도학회 한국초전도학회 High Temperature Superconductivity 한국초전도학회 1999년도 High Temperature Superconductivity Vol.IX

발행연도: 1999.1

수록면: 67 - 70 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

1999

균질한 대면적 YBCO 박막증착을 위한 실린더형 할로우 캐소드 스퍼터링 증착법

서정대 , 한석길 , 성건용 외 1명 한국초전도학회 High Temperature Superconductivity 1999.01 학술대회자료

할로우 캐소드 방전 스퍼터링 시스템을 이용한 대면적 $YBa_{2}$$Cu_{3}$ $O_{7-x}$박막 성장

서정대 , 강광용 , 곽민환 한국초전도저온공학회 학술대회 1999.01 학술대회자료

1995

a-축 배향된 $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}/Insulator/YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$ 다층박막의 제조

서정대 , 성건용 , 김종희 한국재료학회 학술발표대회 1995.01 학술대회자료

1994

a-축 및 c-축 배향 $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$ 초박막의 초전도성에 대한 탄성변형효과

서정대 , 성건용 한국재료학회 학술발표대회 1994.01 학술대회자료

펄스레이저 증착시 $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$ 타깃의 표면입자방출기구

서정대 , 성건용 한국재료학회 학술발표대회 1994.01 학술대회자료

1992

펄스 레이저를 이용한 고온 초전도박막 증착의 레이저-타깃 반응 기구

서정대 , 강광용 , 성건용 [ETRI] 전자통신동향분석 1992.09 동향자료

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We have fabricated YBa$_2Cu_3O_{7-x}$ thin films by cylindrical hollow cathode sputtering. For 2 inch diameter of MgO (100) substrate, we obtained the zero resistance temperature in the range from 83 K to 86 K and thickness uniformity better than 5 % over the whole area. Also, the average deposition rate was 100nm/h which is higher than 10 times compare to conventional off-axis sputtering method. These results indicate that cylindrical hollow cathode sputtering seems to have unique capabilities for high rate and homogeneous deposition of large area thin film.

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한석길

소속기관 Rftron Laboratory

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 7 이용수 1

성건용

소속기관 Electronics and Telecommunications Research Institute

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 10 이용수 1

강광용

소속기관 Telecommunication Basic Laboratory, ETRI

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 10 이용수 2

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