할로우 캐소드 방전 스퍼터링 시스템을 이용한 대면적 $YBa_{2}$$Cu_{3}$ $O_{7-x}$박막 성장

서정대; 강광용; 곽민환

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 서정대 (한국전자통신연구원) 강광용 (한국전자통신연구원) 곽민환 (경상대학교 전기공학과)

저널정보: 한국초전도저온학회 한국초전도저온공학회 학술대회 한국초전도저온공학회 1999년도 제1회 학술대회논문집(KIASC 1st conference 99)

발행연도: 1999.1

수록면: 26 - 29 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

1999

균질한 대면적 YBCO 박막증착을 위한 실린더형 할로우 캐소드 스퍼터링 증착법

서정대 , 한석길 , 성건용 외 1명 한국초전도학회 High Temperature Superconductivity 1999.01 학술대회자료

할로우 캐소드 방전 스퍼터링 시스템을 이용한 대면적 $YBa_{2}$$Cu_{3}$ $O_{7-x}$박막 성장

서정대 , 강광용 , 곽민환 한국초전도저온공학회 학술대회 1999.01 학술대회자료

1995

a-축 배향된 $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}/Insulator/YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$ 다층박막의 제조

서정대 , 성건용 , 김종희 한국재료학회 학술발표대회 1995.01 학술대회자료

1994

a-축 및 c-축 배향 $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$ 초박막의 초전도성에 대한 탄성변형효과

서정대 , 성건용 한국재료학회 학술발표대회 1994.01 학술대회자료

펄스레이저 증착시 $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$ 타깃의 표면입자방출기구

서정대 , 성건용 한국재료학회 학술발표대회 1994.01 학술대회자료

1992

펄스 레이저를 이용한 고온 초전도박막 증착의 레이저-타깃 반응 기구

서정대 , 강광용 , 성건용 [ETRI] 전자통신동향분석 1992.09 동향자료

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Superconducting $YBa_{2}$$Cu_{3}$ $O_{7-x}$(YBCO) thin films were deposited on MgO(100) substrates using a hollow cathode discharge sputtering system. Influence of the sputtering conditions such as substrate temperature and discharge sputtering gas pressure on electrical and structural properties were investigated. It was found that YBCO thin films with zero resistance temperature higher than 85 K were obtained to the pressure 200 mToorr(Ar/O2=0.9), substrate temperature of $760^{\circ}C$, and target-substrate distance of 10 mm during film deposition. Homogeneous large area YBCO films with 2 inch diameter were also sucessfully fabricated by this method.

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강광용

소속기관 한국전자통신연구원 기반기술연구소

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 6 이용수 4

곽민환

소속기관 한국전자통신연구원 기반기술연구소

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 8 이용수 4

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