A Novel Compensation Method for KOH Etching of ( 110 ) Silicon

김병욱 ,  조동일

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Fabrication of Vertical Sidewall Using Double-Sided KOH Etching of {100} Silicon

Hyun-Seok Kim ,  Yong-Seung Bang ,  Eun-Seok Song 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

KOH 수용액내에서 LaNi₅ 전극의 전기화학적 특성에 관한 연구

김동범 ,  김광범

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1995 .05

초정밀 나노구조물 형성을 위한 새로운 KOH 습식각 기술

강찬민 ,  박정호

전기전자재료학회논문지

2011 .01

KOH 이방성 실리콘 식각용액 중에서 UBM의 보호 방법

이상환 ,  주관종 ,  문종태 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Relationship between the Shape of KOH-etched Bounding Interface and the Interfacial Oxide Condition in Silicon Direct Bonding

B.K.Ju ,  K.H.Tchah ,  M.H.Oh

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

KOH 이방성에칭을 이용한 나노채널 및 나노와이어 제작

이강호 ,  조영학 ,  배윤기 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .11

나노인덴터와 KOH 습식 식각 기술을 병용한 Si (100) 표면의 마스크리스 패턴 제작 기술

윤성원 ,  신용래 ,  강충길

소성·가공

2003 .11

실리콘 직접 접합에 있어서 KOH-식각된 접합계면의 모양과 계면산화막의 상태간의 관계 ( Relationship between the Shape of KOH-etched Bonding Interface and the Interfacial Oxide Condition in Silicon Direct Bonding )

주병권 ,  차균현 ,  오명환

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

멤브레인 구조 제작은 위한 단결정 실리콘의 이방성 습식 식각

조남인 ,  강창민

한국반도체장비학회지

2003 .01

낮은 손실률을 갖는 실리콘 모듈레이터 제작을 위한 KOH 습식각 기술

강찬민 ,  박정호

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

나노스크래치와 KOH 에칭 기술을 병용한 Si (100) 패턴제작

윤성원 ,  이정우 ,  강충길

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2003 .05

ELECTROCHEMICAL CHARACTERIZATION OF KOH-ACTIVATED GRAPHITE NANOFIBERS

Hye-Min YOO ,  Soo-Jin PARK

AFORE

2011 .11

용융접합 및 2 단계 전기화학적 식각정지를 이용한 실리콘 막의 제조

주병권 ,  김형곤 ,  오명환 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

폴리아크릴로니트릴계 활성나노탄소섬유의 기공특성이 이산화탄소 흡착에 미치는 영향

이다영 ,  조세호 ,  김예솔 외 1명

폴리머

2013 .09

KOH 첨착 활성탄에서 황화수소의 흡착 특성

최도영 ,  장성철 ,  공경택 외 2명

공업화학

2006 .01

KOH 활성화법으로 제조한 폐감귤박 활성탄의 특성

감상규 ,  강경호 ,  이민규

공업화학

2017 .01

화학 흡수를 이용한 KOH 수용액의 이산화탄소 포집 성능에 관한 연구

유미란 ,  한상준 ,  신지윤 외 1명

대한환경공학회지

2012 .01

적정 집속이온빔 (FIB) 이온 Dose 와 KOH Etching 을 이용한 나노구조의 제작

장기환 ,  김충수 ,  이현택 외 2명

한국CDE학회 학술발표회 논문집

2014 .02