A Novel Compensation Method for KOH Etching of ( 110 ) Silicon

김병욱 ,  조동일

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Fabrication of Vertical Sidewall Using Double-Sided KOH Etching of {100} Silicon

Hyun-Seok Kim ,  Yong-Seung Bang ,  Eun-Seok Song 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

KOH 수용액에서의 전기화학적 식각정지특성

오동환 ,  김문협 ,  김성진 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

멤브레인 구조 제작은 위한 단결정 실리콘의 이방성 습식 식각

조남인 ,  강창민

한국반도체장비학회지

2003 .01

반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구

정귀상 ,  박진성

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구 ( A Study on Anisotropic Etching of Silicon Suitable for IC Process )

정귀상 ,  박진성

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

수용성 암모니아계를 이용한 실리콘 이방성 식각 ( Anisotropic Etching of Silicon with Aqueous Ammonia )

박진성 ,  최영규 ,  정귀상

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Relationship between the Shape of KOH-etched Bounding Interface and the Interfacial Oxide Condition in Silicon Direct Bonding

B.K.Ju ,  K.H.Tchah ,  M.H.Oh

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

알루미늄 배선의 UBM층을 위한 전도성 피막 형성에 관한 연구

허진영 ,  구석본 ,  손성호 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

실리콘 직접 접합에 있어서 KOH-식각된 접합계면의 모양과 계면산화막의 상태간의 관계 ( Relationship between the Shape of KOH-etched Bonding Interface and the Interfacial Oxide Condition in Silicon Direct Bonding )

주병권 ,  차균현 ,  오명환

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

KOH 이방성에칭을 이용한 나노채널 및 나노와이어 제작

이강호 ,  조영학 ,  배윤기 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .11

초정밀 나노구조물 형성을 위한 새로운 KOH 습식각 기술

강찬민 ,  박정호

전기전자재료학회논문지

2011 .01

Cu pad위에 무전해 도금된 UBM (Under Bump Metallurgy)과 Pb-Sn-Ag 솔더 범프 계면 반응에 관한 연구

나재웅 ,  백경욱

한국재료학회지

2000 .01

보드레벨에서 UBM을 고려한 플립칩 솔더볼의 낙하충격 해석

김성걸 ,  장총민

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .04

The Optimum Condition of Anisotropic Bulk (110) Si Etching with KOH for High Selectivity and Low Surface Roughness

Hyung-Teak Lim ,  Yong-Kweon Kim ,  Seung-Ki Lee

Journal of Electrical Engineering and information Science

1997 .10

낮은 손실률을 갖는 실리콘 모듈레이터 제작을 위한 KOH 습식각 기술

강찬민 ,  박정호

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

단결정 실리콘의 이방성 식각특성

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

UBM Sputtering System에 의한 TiN막의 색상과 경도에 관한 연구

박문찬 ,  이종근 ,  주경복

한국안광학회지

2009 .03