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Character of Copper Films on Molybdenum Substrate by Addition of Titanium in an Advanced Metallization Process
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
구리확산방지막으로서 Molybdenum Nitride 박막의 열적안정성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
Mo 하지층의 첨가원소(Ti) 농도에 따른 Cu 박막의 특성
한국재료학회지
2007 .01
Metallization
대한전자공학회 단기강좌
1982 .01
구리 및 은 금속 배선을 위한 전기화학적 공정
화학공학
2009 .01
Copper metallization에서 확산 장벽으로 삽입된 Ta 층에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
Cu 금속배선을 위한 Molybdenum Nitride 확산 방지막 특성
한국재료학회지
1996 .01
구리박막의 피로특성에 관한 제조공정의 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2007 .05
Direct Metallization Process for Advanced Metal/Polyimide Interconnection
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
Sputtering과 Metallization
섬유기술과 산업
2009 .01
Surface Modification of Polyimide Film Surface by Base and Coupling Agent Treatment for Copper Metallization
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2006 .10
산화공정을 이용한 구리박막의 식각 방법
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
습식에칭에 의한 구리박막의 미세회로 형성
Advanced and Future Microelectronics Workshop - Advanced Packaging Technology -
1991 .01
MoS₂ 합성에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .04
절삭을 통한 구리 박막의 물성 평가법
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .10
구리박막의 인장물성에 대한 시험속도의 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2007 .10
폴리이미드 위에 스퍼터 증착된 구리 박막의 미세구조
한국표면공학회지
1992 .02
Copper 함량에 따른 Mo-Cu-N 박막의 미세구조 변화에 대한 연구
한국표면공학회지
2010 .12
DIFFUSION BARRIER CHARACTERISTICS OF MOLYBDENUM NITRIDE FILMS FOR ULSI Cu METALLIZATION
Fabrication and Characterization of Advanced Materials
1995 .01
국내 샘물에서 몰리브덴(Mo)의 수질 특성에 관한 연구
환경분석과 독성보건
2017 .01
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