오존에 의한 산화주석막의 제조

이상운 ,  윤천호 ,  박정일 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구

박진용 ,  김주연 ,  서상원 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

분무열분해법에 의한 SnO₂박막의 증착

김태희

한국태양에너지학회 논문집

1995 .09

이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성

정재인 ,  박형국 ,  문종호 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

다공질 산화주석박막의 형성과 마이크로 가스센서 제조에의 응용

정완영 ,  윤석창

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구

이준우 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

O₃-MOCVD로 제조된 산화주석박막

김용준 ,  배정운 ,  송국현 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

경사 증착법으로 제조된 TiN 박막의 특성 연구

장승현 ,  양지훈 ,  박혜선 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

스퍼터링 증착조건이 TiN막의 마모특성에 미치는 영향 ( The Effect of Sputtering Deposition Conditions on Tribological Characteristics of TiN films )

류준옥 ,  유재욱 ,  임대순

Tribology and Lubricants

1995 .03

The Fabrication of Tin Oxide Films by Atomic Layer Deposition using Tetrakis(Ethylmethylamino) Tin Precursor

최운섭

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2009 .01

대면적 기판의 투명 전극용 SnO₂ 박막 증착을 위한 APCVD 공정

김병국 ,  김현수 ,  김형준 외 3명

기술과 교육

2013 .07

TiN피막의 경도 및 구조적 특성에 미치는 화학증착 조건의 영향

申宗勳 ,  李性來 ,  白瑩鉉

한국표면공학회지

1987 .09

빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 특성

정재훈 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11

RF Reactive Sputtering법에 의한 산화주석 박막의 제조 및 특성

김영래 ,  김선필 ,  김성동 외 1명

한국재료학회지

2010 .01

ALE 법에 의한 TiN 박막의 증착 및 특성 ( Deposition and Characteristics of TiN Thin Films by Atomic Layer Epitaxy )

김동진 ,  정영배 ,  이명복 외 4명

전자공학회논문지-SD

2000 .06

TiN 에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(l)

이종무 ,  권난영 ,  손재현 외 1명

한국재료학회지

1993 .01

진공증착법에 의한 In2O3 투명전도막의 제작 ( Fabrication of Transparent Conducting Films of In2O3 by Vacuum Deposition )

이기선

전자공학회지

1980 .10