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저자정보
최영진 (한국과학기술연구원 복합기능세라믹스연구센터) 박재환 (한국과학기술연구원 복합기능세라믹스연구센터) 박재관 (한국과학기술연구원 복합기능세라믹스연구센터)
저널정보
한국결정학회 한국결정학회지 한국결정학회지 제17권 제1호
발행연도
2006.1
수록면
14 - 18 (5page)

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MOCVD 공정방법에 의해 수직정렬된 ZnO 나노선을 합성하고 공정조건 제어에 의해 합성되는 나노선의 물리적, 광학적 특성이 어떻게 변화하는지를 고찰하고자 하였다. 온도 및 산소분압제어 등의 공전변수 제어를 통하여 ZnO 나노 구조체는 나노선, 나노로드 뿐만 아니라 나노바늘 (nano-needle) 등 다양한 구조로 변화되었으며 그 직경 및 길이도 제어가 가능하였다. 전체적으로 양호한 특성의 wurzite 구조를 나타내었으며 기판에 수직인 방향으로 [0001] 방향으로 성장하였다. 광학특성에서는 나노선 직경이 작아질수록 주방출 피크의 천이현상이 관찰되었다.

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