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학술저널
저자정보
이종람 (포항공과대학교 재료금속공학과) 오상표 (포항공과대학교 재료금속공학과) 한상윤 (포항공과대학교 재료금속공학과) 강승렬 (한국전자통신연구소 반도체 연구단) 이진호 (한국전자통신연구소 반도체 연구단) 조경익 (한국전자통신연구소 반도체 연구단)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제10권 제4호
발행연도
2000.1
수록면
295 - 300 (6page)

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반응성 이온 식각과 산화막을 이용한 첨예화 공정을 통하여 균일한 실리콘 팁 어레이를 제작한 후, 그 위에 Pd을 증착하여, Pd 코팅이 전계 방출특성에 미치는 영향에 대해 조사하였다. 어레이에 존재하는 표면 산화막을 제거한 후의 전계 방출 특성의 향상은 매우 작았으나, $100{\AA}$의 Pd을 코팅한 후에는 30V의 구동전압이 감소하는 등 전계 방출특성이 크게 향상되었다. 이는 Pd 코팅에 의해 팁의 표면 거칠기가 증가하고, 전자가 방출되는 팁 끝부분의 반경이 감소하였기 때문이다. 한편 Pd을 코팅한 에미터는 높은 방출 전류 영역에서 우수한 동작 안전성을 보였다. 이를 통하여 Pd이 코팅된 실리콘 에미터가 고온에서의 동작과 표면안정성에서 우수한 특성을 보임을 알 수 있었다.
#metal coating #semiconductor #reactive ion etching #atomic force microscopy #AFM) #X-ray photoelectron spectroscopy #XPS)

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