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자료유형
학술저널
저자정보
황연 (서울산업대학교 신소재공학과) 이태근 (서울산업대학교 신소재공학과) 박병규 (서울산업대학교 신소재공학과)
저널정보
한국결정학회 한국결정학회지 한국결정학회지 제13권 제2호
발행연도
2002.1
수록면
57 - 62 (6page)

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MgO(001)면 위에 Ti 금속을 증착시킨 후 400℃에서 산소에 노출시킴으로써 헤테로 에피탁시 TiO 막을 성장시켰다. 성장된 TiO막의 원자구조를 비행시간형 직충돌 이온산란 분광법을 사용하여 해석하였다. MgO(001)면에 성장된 에피탁시 TiO막은 다음과 같은 구조를 갖고 있음이 밝혀졌다. Ti및 O 원자가 MgO 원자의 위에 위치하여 면내방향의 격자상수는 MgO의 격자상수와 일치하고, TiO막의 표면은 3차원적 섬 형상이 없는 평활한 구조를 가지고 있다.

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