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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
노대호 (고려대학교 재료공학과) 김재수 (한국과학기술연구원 금속공정연구센터) 변동진 (고려대학교 재료공학과) 양재웅 (대진대학교 신소재공학과) 김나리 (고려대학교 재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제13권 제6호
발행연도
2003.1
수록면
404 - 408 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2005

탄화규소 나노와이어의 성장에 미치는 금속촉매의 영향
노대호 ,  김재수 ,  변동진 외 3명 한국재료학회 학술발표대회 2005.01 학술대회자료

2004

SLS(Solid-Liquid-Solid) 성장기구에 의한 탄화규소 나노튜브의 성장
노대호 ,  김재수 ,  변동진 외 2명 한국재료학회지 2004.01 학술저널

2003

테트라메틸사일렌을 이용한 탄화규소 나노로드의 성장
노대호 ,  김재수 ,  변동진 외 2명 한국재료학회지 2003.01 학술저널
열탄화법을 사용한 탄화규소 나노와이어의 성장
노대호 ,  김재수 ,  변동진 외 2명 한국재료학회지 2003.01 학술저널
화학증착방법으로 성장시킨 탄화규소 나노와이어의 전기적 특성
노대호 ,  김재수 ,  변동진 외 3명 한국재료학회 학술발표대회 2003.01 학술대회자료
열탄화법에 의한 SiC 나노로드 성장
노대호 ,  변동진 ,  김재수 외 5명 한국재료학회 학술발표대회 2003.01 학술대회자료

초록· 키워드

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SiC nanorods have been grown on Si (100) substrate directly. Tetramethylsilane and Ni were used for SiC nanorod growth. After 3minute, SiC nanorod had grown by CVD. Growth regions ware divided by two regions with diameter. The First region consisted of thin SiC nanorods having below 10 nm diameter, but second region's diameter was 10∼50 nm. This appearance shows by reduction of growth rate. The effect of temperature and growth time was investigated by scanning electron microscopy. Growth temperature and time affected nanorod's diameter and morphology. With increasing growth time, nanorod's diameter increased because of the deactivation effect. But growth temperatures affected little. By TEM characterization, grown SiC nanorods consisted of the polycrystalline grain.
#SiC nanorod #SiC #Spin coating #Tetramethylsilane #CVD

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