화학증착방법으로 성장시킨 탄화규소 나노와이어의 전기적 특성

노대호; 김재수; 변동진; 진정근; 김나리; 양재웅

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 노대호 (고려대학교 재료공학과) 김재수 (한국과학기술연구원) 변동진 (고려대학교 재료공학과) 진정근 (고려대학교 재료공학과) 김나리 (고려대학교 재료공학과) 양재웅 (대진대학교 신소재공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 2003.1

수록면: 114 - 114 (1page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (6)

2005

탄화규소 나노와이어의 성장에 미치는 금속촉매의 영향

노대호 , 김재수 , 변동진 외 3명 한국재료학회 학술발표대회 2005.01 학술대회자료

2004

SLS(Solid-Liquid-Solid) 성장기구에 의한 탄화규소 나노튜브의 성장

노대호 , 김재수 , 변동진 외 2명 한국재료학회지 2004.01 학술저널

2003

테트라메틸사일렌을 이용한 탄화규소 나노로드의 성장

노대호 , 김재수 , 변동진 외 2명 한국재료학회지 2003.01 학술저널

열탄화법을 사용한 탄화규소 나노와이어의 성장

노대호 , 김재수 , 변동진 외 2명 한국재료학회지 2003.01 학술저널

화학증착방법으로 성장시킨 탄화규소 나노와이어의 전기적 특성

노대호 , 김재수 , 변동진 외 3명 한국재료학회 학술발표대회 2003.01 학술대회자료

열탄화법에 의한 SiC 나노로드 성장

노대호 , 변동진 , 김재수 외 5명 한국재료학회 학술발표대회 2003.01 학술대회자료

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SiC is promising materials because of its typical properties. So, SiC nanowires and rods were fabricated using various methods. Among theses methods, CVD was a effective method to growth SiC nanowire on the Si for using optical and electrical devices. SiC nanowires were synthesized by CVD using single precursors on Si substrate. To growth SiC nanowire, various metal used to catalyst. Catalyst affects rnicrostructures and growth conditions. Electric and optical properties were varied with kind of catalyst. Difference of these characteristics was due to the reactivity of catalyst and stability of growth process

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