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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김봉섭 (경남대학교 공동기기센터) 윤존도 (경남대학교 신소재공학부) 김종국 (한국기계연구원 박막공정그룹)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제13권 제9호
발행연도
2003.1
수록면
606 - 612 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2003

나노인덴테이션과 주사탐침현미경을 이용한 박막 재료의 특성평가
김봉섭 ,  윤존도 ,  김종국 한국재료학회지 2003.01 학술저널

2002

베르코비치와 비커스 압자를 이용한 박막재료의 나노인덴테이션-주사탐침현미경 분석
김봉섭 ,  김지수 ,  윤존도 한국재료학회 학술발표대회 2002.01 학술대회자료

2001

나노인덴테이션을 이용한 ITO 박막의 특성 평가
김봉섭 ,  윤존도 한국재료학회 학술발표대회 2001.01 학술대회자료

초록· 키워드

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Surface and mechanical properties of thin films with submicron thickness was characterized by nanoindentation with Berkovich and Vickers tips, and scanning probe microscopy. Nanoindention was made in a depth range of 15 to 200 nm from the surface by applying tiny force in a range from 150 to $9,000 \mu$N. Stiffness, contact area, hardness, and elastic modulus were determined from the force-displacement curve obtained. Reliability was first tested by using fused quartz, a standard sample. Elastic modulus and hardness values of fused quartz measured were the same as those reported in the literature within two percent of error. Mechanical properties of ITO thin film were characterized in a depth range of 15∼200nm. As indentation depth increased, elastic modulus and hardness decreased by substrate effect. Ion beam deposited DLC thin films were indented in a depth range of 40∼50 nm. The results showed that the DLC thin film using benzene and bias voltage 0∼-50 V has elastic modulus and hardness value of 132 and 18 GPa respectively. Pure DLC thin films showed roughnesses lower than 0.25 nm, but silicon-added DLC thin films showed much higher roughness values, and the wavy surface morphology.
#nanoindentation #scanning probe microscopy #hardness #elastic modulus #thin film

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