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자료유형
학술저널
저자정보
한혜정 (강릉대학교 금속재료공학과) 최재호 (강릉대학교 금속재료공학과) 민석홍 (강릉대학교 금속재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제16권 제8호
발행연도
2006.1
수록면
503 - 510 (8page)

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The measurement of specific gases is based on the reversible conductivity change of sensing materials in semiconductor type gas sensors. For an application as gas sensors of high sensitivity, porous $SnO_2$ films have been fabricated by anodizing of pure Sn foil in oxalic acid and characteristics of anodic tin oxide films have been investigated. Pore diameter and distribution were dependent on process conditions such as electrolyte concentration, applied voltage, anodizing temperature, and time. Characteristics of anodic films were explained with current density-time curves.
#anodizing #porous tin oxide #gas sensor

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