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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
차남구 (한양대학교 재료화학공학부) 강영재 (한양대학교 재료화학공학부) 김인권 (한양대학교 재료화학공학부) 김규채 (한양대학교 재료화학공학부) 박진구 (한양대학교 재료화학공학부)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제16권 제12호
발행연도
2006.1
수록면
731 - 738 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 평가
차남구 ,  강영재 ,  김인권 외 2명 한국재료학회지 2006.01 학술저널
연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 개발 및 평가
차남구 ,  강영재 ,  김인권 외 2명 한국재료학회 학술발표대회 2006.01 학술대회자료

초록· 키워드

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It is seriously considered using Al CMP (chemical mechanical planarization) process for the next generation 45 nm Al wiring process. Al CMP is known that it has a possibility of reducing process time and steps comparing with conventional RIE (reactive ion etching) method. Also, it is more cost effective than Cu CMP and better electrical conductivity than W via process. In this study, we investigated 4 different kinds of slurries based on abrasives for reducing scratches which contributed to make defects in Al CMP. The abrasives used in this experiment were alumina, fumed silica, alkaline colloidal silica, and acidic colloidal silica. Al CMP process was conducted as functions of abrasive contents, $H_3PO_4$ contents and pressures to find out the optimized parameters and conditions. Al removal rates were slowed over 2 wt% of slurry contents in all types of slurries. The removal rates of alumina and fumed silica slurries were increased by phosphoric acid but acidic colloidal slurry was slightly increased at 2 vol% and soon decreased. The excessive addition of phosphoric acid affected the particle size distributions and increased scratches. Polishing pressure increased not only the removal rate but also the surface scratches. Acidic colloidal silica slurry showed the highest removal rate and the lowest roughness values among the 4 different slurry types.
#Al #aluminum) #Chemical mechanical planarization #CMP) #Metallization #Acidic colloidal slurry

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