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저자정보
장지근 (단국대학교 전자공학과) 백동기 (단국대학교 전자공학과) 윤진모 (단국대학교 전자공학과) 임성규 (단국대학교 전자공학과) 장호정 (단국대학교 전자공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제8권 제1호
발행연도
1998.1
수록면
10 - 12 (3page)

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Si FEA 로부터 tip의 표면을 Ti금속으로 silicidation한 새로운 2극형 Ti-실리사이드 FEA를 제작하고 이의 전계방출 특성을 Si FEA의 경우와 비교하였다. 양극과 음극간의 거리를 10$\mu\textrm{m}$로 유지하고 $10^{-8}$Torr의 고진공 상태에서 측정한 실리사이드 FEA의 turn-on전압은 약 40V로, 전계방출전류와 정상상태 전류 변동율은 150V의 바이어스 아래에서 약 3x$10^{-2}$ $\mu$A/tip와 0.1%min로 나타났다. Ti-실리사이드 FEA는 Si FEA에 비해 낮은 turn-on 전압, 높은 전계방출전류 및 고내구특성을 나타내었다.

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