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자료유형
학술저널
저자정보
문건 (제주대학교 통신과) 고대식 (경희대학교 전자공학과) 김장권 (경희대학교 전자공학과) 전계석 (경희대학교 전자공학과)
저널정보
한국음향학회 한국음향학회지 한국음향학회지 제6권 제3호
발행연도
1987.1
수록면
23 - 30 (8page)

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본 논문에서는 반사형 음향 현미경의 반사응답 특성인 V(z)현상을 고찰하고 이 현미경을 이용한 새로운 형태의 비파괴 검사 기술을 제시한다. 10원 주화, 알루미늄, 집적회로 소자, 그리고 kevlar-epoxy 등을 샘플로서 선택하고 중심주파수 3 MHz의 음향 현미경을 focused mode 및 defocused mode에서 동작시켜 실험하였다. 이 과정에서 음향 현미경의 분해능은 $500\mu m$로 나타났고 샘플의 표면 및 그 내부에 존재하는 결함은 검출되어 이를 영상화하였으며 샘플에 대한 영상의 콘트라스트 변화는 V(z)현상과 잘 일치함을 보였다.

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