반도체 산업과 클린룸

대한설비건설협회

설비공사

1992 .01

클린룸의 가스 제어기술

안강호

냉동공조기술

1997 .01

반도체 클린룸의 설계 및 시공

임태빈

설비공사

1992 .01

한국 반도체 산업의 현황과 클린룸 기술 전망

손장열

냉동공조기술

1997 .01

GIGA급 반도체 클린룸내 입자관리

배귀남

공기청정기술

1999 .01

반도체공장 클린룸 구조에서의 미진동 연구

이호범

공기청정기술

1992 .01

`고집적 디바이스 반도체 제조용 클린룸의 유지 및 안전관리`

최종복

공기청정기술

1992 .01

클린룸에 있어서의 측정과 평가

김광영

설비공사

1992 .01

클린룸의 성능평가

배귀남

공기청정기술

2005 .01

클린룸에서 에너지 절약을 위한 배기특성에 관한 연구 ( A Study on Characteristics of Exhaust Air for Energy Saving in Cleanroom )

심우식 ,  임태빈

대한건축학회 논문집 - 계획계

1998 .11

산업용 클린룸의 설계

이종형

냉동공조기술

1997 .01

반도체 클린룸에서의 에너지절약 대책

양성철

공기청정기술

2005 .01

클린룸의 성능평가 기술

김광영

냉동공조기술

1997 .01

클린룸 최신기술 심층분석 II - 바이오 클린룸의 운영관리

송경석 ,  백동석

공기청정기술

2016 .01

클린룸 에너지 절감 개선 사례 - 반도체 클린룸에서의 에너지 재활용/절감 사례

양성철

공기청정기술

2014 .01

반도체공장에 있어서의 슈퍼클린룸

이민우 ,  이철구

냉동공조기술

1997 .01

클린룸의 자동제어

조성관

공기청정기술

1990 .01

클린룸의 환경유지 관리 및 에너지 소비특성에 관한 조사연구 ( The Characteristics of Energy Consumption and Environmental Maintenance in Cleanroom )

손장열 ,  심우식 ,  양경동

대한건축학회 논문집

1993 .04

클린룸 기술과 마이크로시스템 엔지니어링

공기청정기술

1998 .01

산업용 클린룸에 있어서 필터의 유지관리에 대하여

김정호

공기청정기술

1992 .01