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대한건축학회 대한건축학회 논문집 - 계획계 대한건축학회논문집 - 계획계 제14권 제11호
발행연도
1998.11
수록면
371 - 378 (8page)

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정밀기계 의약품 제조, 의료분야등에서 이용하기 시작한 정정공간인 클린 룸(Clean Room, CR)은 반도체 공장을 중심으로 급속히 발전하여 점차 고 청정, 고기능, 대형화되고 있는 추세이다. 특히 반도체 공장의 클린룸에서 는 반도체칩의 기억용량 증대에 따라 청중도 및 온濕도 조절이 점차 고도 화 되고 있으며, 클린룸은 1일 24시간 년중무휴로 운전되기 때문에 타 분 야의 클린룸에 비해 높은 에너지 소비경향을 보이고 있어 에너지 절감이 중요한 관심의 대상이 되고 있다. 반도체 공장의 클린룸에서 내실부荷는 외기부, 기계발열, 팬발열 순으로 전체의 90%이상을 차지하고 있으며, 이 중 외기부荷는 40%이상으로 높은 비중을 보이고 있어 이 항목에 대한 에 너지절약방안은 매우 효율적이라 할 수 있다. 따라서 본 연구에서는 클린 룸을 건설함에 있어 에너지절약 관점에서 발열의 이용가능성을 검토하기 위하여 실측을 통한 클린룸 배기의 열용량과 외열, 실내배기, 순환계 통상 의 입자 및 가스상의 오염물질을 비교, 분석함으로써 배기로 부터의 열회 수 가능성을열적특성과 오염물질의 완전성 측면에서 평가하였다. 그 결과 클린룸내에서의 각종 배기중 일반 및 열배기가 온습도 및 공기질의 측면에 서 안정된 분포를 보이고 있어 열원으로서 그 활용 가능성이 높은 것으로 분석되었다.

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