$SnO_2/TiO_2$후막소자의 감습특성

박효덕; 이덕동

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박효덕 (경북대학교 전자공학과) 이덕동 (경북대학교 전자공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제2권 제3호

발행연도: 1992.1

수록면: 163 - 171 (9page)

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$TiO_2$가 5-50wt%첨가된 $SnO_2/TiO_2$ 후막형 감습소자를 스크린 프린팅 법을 이용하여 제조 하였다. 소자의 표면결정구조를 XRD, SEM 그리고 FTIR로 조사하였으며, 전기적 특성에 의한 후막소자의 감습특성을 측정하였다. $SnO_2/TiO_2$ 후막은 $TiO_2$ 결정상 보다 주로$(SnO^2){\cdot}6T$ 결정상으로 나타났으며, $1300^{\circ}C$에서 소결된 후막소자의 평균입경은 $2.0{\mu}m$이었다. 또한 $1300^{\circ}C$에서 소결된 10wt% $TiO_2$가 첨가된 $SnO_2/TiO_2$ 후막소자는 상대습도 20-90%에서 높은 감습특성을 나타내었다.

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박효덕

소속기관 경북대학교 전자공학과

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 33 이용수 1,268

이덕동

소속기관 경북대학교 전기전자공학부

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

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