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학술대회자료
저자정보
Kim, H.W. (Kyungwon Univ. Dept. of Electrical & Information Engineering) Keum, M.J. (Kyungwon Univ. Dept. of Electrical & Information Engineering) Lee, K.S. (SAMSUNG SDI Co.,LTD) Kim, H.K. (SAMSUNG SDI Co.,LTD) Kim, K.H. (Kyungwon Univ. Dept. of Electrical & Information Engineering)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.II
발행연도
2005.1
수록면
1,477 - 1,479 (3page)

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In this work, the ITO thin films were prepared by FTS (Facing Targets Sputtering) system under different sputtering conditions which were varying $O_2$ gas flow, input current at room temperature. As a function of sputtering conditions, electrical and optical properties of prepared ITO thin films were measured. The electrical, optical characteristics and surface roughness of prepared ITO thin films were measured. In the results, as increasing $O_2$ gas 0.1[sccm] to 0.7[sccm], resistivity of ITO thin film was increased with a decreasing carrier concentration, $O_2$ gas over 0.3[sccm] the carrier mobility have a similarly value. Transmittance of prepared ITO thin films were improved at increasing $O_2$ gas 0.1[sccm] to 0.7[sccm]. And transmittance of all of the prepared ITO thin films was over 80%. We could obtain resistivity $6.19{\times}10^{-4}[{\omega}{\cdot}cm]$, carrier mobility $22.9[cm^2/V{\cdot}sec]$, carrier concentration $4.41{\times}10^{20}[cm^{-3}]$ and transmittance over 80% of ITO thin film prepared at working pressure 1mTorr, input current 0.4A without any substrate heating.

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