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저자정보
Kopark, Sang-Hee (Organic Display Team, ETRI) Hwang, Chi-Sun (Organic Display Team, ETRI) Kwack, Ho-Sang (Organic Display Team, ETRI) Lee, Jung-Ik (Organic Display Team, ETRI) Chu, Hye-Yong (Organic Display Team, ETRI)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
발행연도
2006.1
수록면
601 - 604 (4page)

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We have developed ZnO TFT array using conventional photolithography and wet etching processes. Transparent 20 nm of ultra thin ZnO film deposited by means of plasma enhanced atomic layer deposition at $100^{\circ}C$ was used for the active channel. The ZnO TFT has a mobility of $0.59cm^2/V.s$, a threshold voltage of 7.2V, sub-threshold swing of 0.64V/dec., and an on/off ratio of $10^8$.

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