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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 저널정보
- 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권2호
- 발행연도
- 2007.1
- 수록면
- 1,315 - 1,318 (4page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (4)
2007
The Effect of Hafnium Dioxide Nanofilm on the Organic Thin Film Transistor
Choi
,
Woon-Seop
,
Song
외 1명
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2007.01
학술대회자료
Characterization of ZnO for Transparent Thin Film Transistor by Injection Type Delivery System of ALD
Choi
,
Woon-Seop
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2007.01
학술대회자료
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Hafnium dioxide nano film as gate insulator for organic thin film transistors is prepared by atomic layer deposition. Mostly crystalline of $HfO_2$ films can be obtained with oxygen plasma and with water at relatively low temperature of $150^{\circ}C$. $HfO_2$ was deposited as a uniform rate $1.2A^{\circ}/cycle$. The morphology and performances of OTFT will be discussed.
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