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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
Choi, Woon-Seop (School of Display Engineering, Hoseo University)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권1호
발행연도
2007.1
수록면
860 - 863 (4page)

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2009

ZnO Thin Film Transistor Prepared from ALD with an Organic Gate Dielectric
Choi ,  Woon-Seop 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2009.01 학술대회자료

2008

Effect of Hafnium Oxide on ALD Grown ZnO Thin Film Transistor
Choi ,  Woon-Seop 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2008.01 학술대회자료

2007

The Effect of Hafnium Dioxide Nanofilm on the Organic Thin Film Transistor
Choi ,  Woon-Seop ,  Song 외 1명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2007.01 학술대회자료
Characterization of ZnO for Transparent Thin Film Transistor by Injection Type Delivery System of ALD
Choi ,  Woon-Seop 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2007.01 학술대회자료

초록· 키워드

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ZnO nano film for transparent thin film transistors is prepared by injection type source delivery system of atomic layer deposition. By using this delivery system the source delivery pulse time can dramatically be reduced to 0.005s in ALD system. ZnO nanofilms obtained at $150^{\circ}C$ are characterized.

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