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저자정보
Jin, Beop-Jong (Dept. of Materials Science and Engineering, Hongik Univ.) Hong, Won-Eui (Dept. of Materials Science and Engineering, Hongik Univ.) Lim, Jung-Yoon (Dept. of Materials Science and Engineering, Hongik Univ.) Kim, Deok-Hoi (LTPS Team, AMLCD Business, Samsung Electronics) Uemoto, Tstomu (LTPS Team, AMLCD Business, Samsung Electronics) Kim, Chi-Woo (LTPS Team, AMLCD Business, Samsung Electronics) Ro, Jae-Sang (Dept. of Materials Science and Engineering, Hongik Univ.)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권2호
발행연도
2007.1
수록면
1,277 - 1,280 (4page)

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Isothermal activation annealing was carried out using boron doped SLS poly-using an RTA system. We observed different behavior of reverse annealing depending on the implantation conditions.

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