Reverse annealing of boron doped polycrystalline silicon

Jin ,  Beop-Jong ,  Hong 외 11명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2007 .01

Reverse annealing of boron doped polycrystalline silicon

Lim ,  Jung-Yoon ,  Hong 외 9명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2008 .01

새로운 AnneaLing 방법

홍순관 ,  박선우 ,  김철주

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

새로운 Annealing 방법 ( A New Annealing Method )

홍순관 ,  김철주 ,  박선우

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

Application of Rapid Thermal Annealing To Activation in Low Temperature Polycrystalline Si Thin Films

Lee ,  Jong-Won ,  So 외 13명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

Dopant Activation and Damage Recovery of Ion Shower Doped Poly-Si According to Various Annealing Techniques

Pa ,  k ,  Jong-Hyun 외 8명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

Ion Mass Doping 법을 이용한 Phosphorus 주입된 실리콘 박막의 Annealing 특성

강창용 ,  최덕균 ,  주승기

한국표면공학회지

1994 .08

Dopant activation by using CW laser for LTPS processing

Kim ,  Ki-Hyung ,  Kim 외 12명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

Field assisted dopant activation of ion shower doped Poly-Si

Kim ,  Eun-Seok ,  Kim 외 9명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

Application of Modified Rapid Thermal Annealing to Doped Polycrystalline Si Thin Films Towards Low Temperature Si Transistors

So ,  Byung-Soo ,  Kim 외 5명

한국재료학회지

2008 .01

Composite target으로 증착된 Mo-silicide의 형성 및 불순물의 거동

조현춘 ,  백수현 ,  최진석 외 6명

한국재료학회지

1992 .01

Ion shower doping 후 FA(furnace annealing)에 따르는 dopant activation 과 damage recovery에 관한 연구

박종현 ,  김동민 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Mean Field Annealing을 이용한 곡률 추정에 관한 연구

손광훈

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

Mean Field Annealing 을 이용한 곡률 추정에 관한 연구 ( A Study on The Curvature Estimation Using Mean Field Annealing )

손광훈

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

Simple preparation of simultaneously boron doped and reduced graphene oxides by thermal annealing and their electrical properties

염다영 ,  전우진 ,  임정아 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2013 .04

Advances in excimer laser annealing for LTPS manufacturing

He ,  bst ,  Ludolf 외 9명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

Dopant-Activation and Damage-Recovery of Ion-Shower-Doped Poly-Si through $PH_3/H_2$ after Furnace Annealing

Kim ,  Dong-Min ,  Kim 외 7명

Journal of information display

2004 .01

Parameter Estimation in Mean Field Annealing Technique

Kwanghoon Sohn ,  Jung-Hyoun Kim

대한전자공학회 학술대회

1997 .06