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저자정보
Kim, Se-Hyun (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University) Moon, Yeon-Geon (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University) Moon, Dae-Yong (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University) Park, Jong-Wan (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University) Jeong, Chang-Ho (LCD R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
발행연도
2006.1
수록면
1,351 - 1,354 (4page)

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In this paper, we study the effect of substrate temperature on property of Ga doped ZnO (GZO) thin film for transparent conductive oxide (TCO).GZO thin films have been deposited on corning glass 1737 by D.C. magnetron sputtering. We investigated the structural and electrical properties of GZO films using the X-Ray Diffractometer(XRD), Field Emission Scanning Electron Microscopy(FESEM) and 4-points probe .

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