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학술저널
저자정보
박정남 (한국원자력연구원 원자력재료연구부) 김원주 (한국원자력연구원 원자력재료연구부) 박종훈 (한국원자력연구원 원자력재료연구부) 조문성 (한국원자력연구원 수소생산원자로기술개발부) 이채현 (배재대학교 재료공학과) 박지연 (한국원자력연구원 원자력재료연구부)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제18권 제8호
발행연도
2008.1
수록면
406 - 410 (5page)

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The properties of pyrolytic carbon (PyC) deposited from $C_2H_2$ and a mixture of $C_2H_2/C_3H_6$ on $ZrO_2$ particles in a fluidized bed reactor were studied by adjusting the deposition temperature, reactant concentration, and the total gas flow rate. The effect of the deposition parameters on the properties of PyC was investigated by analyzing the microstructure and density change. The density could be varied from $1.0\;g/cm^3$ to $2.2\;g/cm^3$ by controlling the deposition parameters. The density decreased and the deposition rate increased as the deposition temperature and reactant concentration increased. The PyC density was largely dependent on the deposition rate irrespective of the type of the reactant gas used.
#fluidized-bed chemical vapor deposition #pyrolytic carbon #deposition parameter

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