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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.11
- 수록면
- 194 - 195 (2page)
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Deposition profile of DLC and a-C:H films in trenches is one of the concerns to realize coatings on patterned substrates. We have succeeded in controlling deposition profile of Cu in trenches for nano-fabrications, and have realized sub-conformal, conformal and anisotropic deposition. We are applying the deposition profile control method to carbon films in trenches. Deposition rate incre ... 전체 초록 보기
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