다결정 CdTe 기반의 광계수형 X선 센서 제작 및 특성평가

강상식; 박지군

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자료유형: 학술저널

저자정보: 강상식 (한국국제대학교 방사선학과) 박지군 (한국국제대학교 방사선학과)

저널정보: 한국방사선학회 한국방사선학회 논문지 한국방사선학회 논문지 제9권 제7호

발행연도: 2015.1

수록면: 439 - 443 (5page)

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종래의 방사선 의료영상 센서는 방사선에 의해 생성된 전하신호를 화소내에서 적분하는 방식이다. 본 연구에서는 저선량에서 우수한 해상력이 가능한 광계수형 영상센서를 개발하기 위해 진공 열증착법을 이용하여 다결정 CdTe(p-CdTe) 필름을 제작하였다. 또한, 광계수형 센서의 성능평가를 위하여 물리적 특성(SEM, XRD) 및 전기적 특성(leakage current, x-ray sensitivity, SNR) 평가를 하였다. 측정 결과, $1V/{\mu}m$ 이하의 인가전압에서 $5nA/cm^2$ 이하의 누설 전류밀도를 보였으며, X선 발생신호량은 $7{\mu}C/cm^2{\cdot}R$으로 광계수형 센서로의 적용에 적합한 것으로 평가되었다. 또한, 신호대잡음비는 동작영역에서 5000 이상의 값을 보였다.

#광계수 #다결정 #텔루르화카드뮴 #전하수집효율 #열증착

참고문헌 (7)

참고문헌 신청

Kyung-O KIM / 2014 / Measurement of the electrical properties of a polycrystalline cadmium telluride for direct conversion flat panel x-ray detector / 2014 JINST :1~4

오경민 / 2009 / 헤테르접합을 이용한 누설전류 저감을 위한 다층구조의 방사선 검출 물질 개발 / 한국방사선학회논문지 3(1):11~15

박지군 / 2004 / X-ray Sensitivity of Hybrid-type Sensor based on CaWO4-Selenium for Digital X-ray Imager / Transactions on Electrical and Electronic Materials 5(4):133~137

박지군 / 2007 / 비정질 셀레늄 기반 디지털 방사선 검출기의 성능 평가 / 의공학회지 28(2):300~305

Heo-Ye-Ji / 2012 / A study of the photon counting sensor setup for the evaluation of the photon count efficiency / The Korean Society of Radiology Proceeding of 2012 Autumn conference :177~180

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